介电常数论文

PECVD法制备低介电常数碳氟薄膜的研究

一、PECVD法制备低介电常数含氟碳膜研究（论文文献综述）王燕[1]（2019）在《渐变膜系减反膜激光损伤阈值变化规律研究》文中研究表明光学减反膜元件是激光系统中极其重要的器件...