气体传感器论文

压力测量膜片的变形计算

一、压力测量膜片的形变计算（论文文献综述）司文荣,傅晨钊,卜剑,倪鹤立,李浩勇,王谢君,鞠登峰,虞益挺[1]（2021）在《基于多孔式敏感膜片的MEMS光纤珐珀传感器及其局部放...